為了在潔凈室運行過程中及時了解與判定潔凈室環(huán)境，特別是一些關鍵區(qū)域或部位所處的狀態(tài)，是否始終符合生產或科研所規(guī)定的技術指標，潔凈室管理者需要對其主要技術指標進行實時監(jiān)控或周期性監(jiān)測。一些高級別潔凈室為此對一些關鍵指標：潔凈度、溫度、濕度和惰性氣體等設置了連續(xù)巡查的裝置，以便隨時考核潔凈室的受控狀態(tài)。
1、遠程激光粒子計數傳感器
這類設備習慣上又稱為“遠程空氣顆粒傳感器”，實際上是個以簡易的激光粒子計數器為主體并附設有溫度、濕度及惰性氣體傳感器的裝置。它們往往被設置在潔凈室的關鍵部位，依據指令對所監(jiān)控的環(huán)境進行空氣采樣，并將結果以標準電訊號或其它通信方式輸出并傳至控制中心的電腦，供潔凈室管理者根據需要隨時監(jiān)測環(huán)境狀態(tài)。有些設備還可根據需要給出報警信號，其工作原理示意如圖：

（1）4803/4805遠程空氣顆粒傳感器
特點：長壽命鐳射技術。
流速：0.1cfm（2.83L/min），可最小監(jiān)控0.3um（4803）和0.5um（4805）粒徑顆粒；2個粒徑尺寸和RS485連續(xù)通信方式。
應用：電子廠潔凈室空氣監(jiān)控，惰性氣體采樣和微環(huán)境監(jiān)控。
性能：監(jiān)控最小粒徑0.3um（4803）和0.5um（4805），流速采用小流量0.1cfm（2.83L/min）。
粒徑通道：R4803CH1/CH2：0.3/0.5um；R4805CH1/CH2：0.5/5.0um。
激光光源為激光二極管（10年MTTF）；濃度損失為＜5%@2000000顆/ft³；電源采用6VDC（+10%）＜125mA。
（2）4903/4905遠程空氣顆粒計數儀
特點：長壽命鐳射技術。
流速：0.1cfm（2.83L/min），可最小監(jiān)控0.3um（4903）和0.5um（4905）粒徑顆粒；2個粒徑尺寸通道；4～20mA輸出和延遲報警。
應用：電子廠潔凈室空氣監(jiān)控，惰性氣體采樣和微環(huán)境監(jiān)控。
性能：監(jiān)控最小粒徑0.3um（4903）和0.5um（4905）。
粒徑通道：R4903CH1/CH2：0.3/0.5um；R4905CH1/CH2：0.5/5.0um。
激光光源為激光二極管（10年MTTF）；濃度損失為＜5%@2000000顆/ft³；電源采用6VDC（+10%）＜125mA；電流回路供電15～30VDC。
（3）5813/5815遠程空氣顆粒傳感器
特點：長壽命鐳射技術和不銹鋼外殼。
流速：1cfm（28.3L/min），可最小監(jiān)控0.3um（5813）和0.5um（5815）粒徑顆粒；2個粒徑尺寸通道和RS485連續(xù)通信方式。
應用：電子半導體廠潔凈室空氣監(jiān)控，惰性氣體采樣和微環(huán)境監(jiān)控。
性能：監(jiān)控最小粒徑0.3um（5813）和0.5um（5815），流速采用大流量1cfm（28.3L/min）。
粒徑通道：R5813CH1/CH2：0.3/0.5um；R5815CH1/CH2：0.5/5.0um。
激光光源為激光二極管（10年MTTF）；濃度損失為＜5%@400000顆/ft³；電源采用12～28VDC@＜300mA；數據輸出方式為RS485。
（4）5913/5915遠程空氣顆粒傳感器
特點：長壽命鐳射技術和不銹鋼外殼。
流速：1cfm（28.3L/min），可最小監(jiān)控0.3um（5913）和0.5um（5915）粒徑顆粒；2個粒徑尺寸通道和4～20mA輸出。
應用：電子半導體廠潔凈室空氣監(jiān)控，惰性氣體采樣和微環(huán)境監(jiān)控。
性能：監(jiān)控最小粒徑0.3um（5913）和0.5um（5915），流速采用大流量1cfm（28.3L/min）。
粒徑通道：R5913CH1/CH2：0.3/0.5um；R5915CH1/CH2：0.5/5.0um。
激光光源為激光二極管（10年MTTF）；濃度損失為＜5%@400000顆/ft³；電源采用12～28VDC@＜300mA；數據輸出方式為4～20mA。
（5）4503/4505遠程空氣顆粒傳感器
特點：長壽命鐳射技術從而降低了使用成本。
流速：1cfm（28.3L/min），可最小監(jiān)控0.3um（4503）和0.5um（4505）粒徑顆粒；2個粒徑通道；0.3～5.0um和0.5～10.0um監(jiān)測范圍；RS422脈沖或者RS585Modbus，輸出接線方式為RJ45與FMS系統(tǒng)連接和通信。
應用：電子半導體廠潔凈室空氣監(jiān)控，惰性氣體采樣和微環(huán)境監(jiān)控。
性能：監(jiān)控最小粒徑0.3um（4503）和0.5um（4505），流速采用小流量0.1cfm（2.83L/min）。
粒徑通道：0.3～5.0um（4503）；0.5～10.0um（4505）。
計數效率：50%@0.3um，100%@＞0.45um（4503）；50%@0.5um，100%@＞0.75um（4505）。
激光光源為激光二極管（10年MTTF）；濃度損失為＜5%@2000000顆/ft³；電源采用9～28VDC；通訊協(xié)議方式為Modbus或脈沖。
2、空氣顆粒計數及溫度、濕度順序監(jiān)控裝置
除去設置專用的“遠程空氣顆粒傳感器”進行潔凈室關鍵部位的空氣技術參數監(jiān)測外，還可以采取另一種模式，即依靠一套順序監(jiān)控裝置，通過美國電氣工程師協(xié)會所制定的通訊協(xié)議RS232/485或其它信號傳輸方式把放置在不同位置上的離散粒子計數器的測量值傳輸到設置在中央控制室或檢測中心的順序監(jiān)測控制裝置的接口，供巡查或選擇性監(jiān)測用。2432順序監(jiān)測系統(tǒng)
特點：采樣口數量32；通訊協(xié)議RS232；可選報警模塊，每個報警模塊提供觸點用于16個端口和RH/溫度，兩個報警模塊可以連接到32端口系統(tǒng)；可編程端口順序最多100步。
電源：100～120V；220～250V
多路器尺寸：30.5*31.8*40.6cm（寬*高*深）
控制器尺寸：23.1*12.2*20.6cm（寬*高*深）
適用機型及其性能：2100，2200，2400，2408應用電子廠潔凈室空氣監(jiān)測和認證，層流工作臺和通風供氣管網。
另一種順序監(jiān)測系統(tǒng)則僅在潔凈室各關鍵部位設置空氣采樣口，通過氣溶膠導管將所設置的多個采樣口與配置有激光粒子計數器及計算機的順序監(jiān)測系統(tǒng)相連。由計算機控制激光粒子計數器順序與各采樣口的氣溶膠導管相通，由氣泵采入與之相通的空氣采樣口處的空氣，進行粒徑與數量的測量，并將結果錄入計算機中，其工作原理如下圖：

與前述多臺激光粒子計數器的順序監(jiān)測系統(tǒng)相比，這種方式雖然成本降低很多，但其作用半徑受到較大限制，同時由于空氣流動時沿程的顆粒損失，因此測量精度也遠不如多臺激光粒子計數器所構成的順序監(jiān)測系統(tǒng)。