工業(yè)潔凈室特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢水主要成份有：含酸廢水、含堿廢水、含氟廢水、含磷廢水、有機(jī)廢水等不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其廢水的成份不同，但都必須進(jìn)行處理，處理后的廢水達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)方能排放。
半導(dǎo)體集成電路工廠的廢水處理大都采用化學(xué)中和沉淀法處理。其典型流程如下：

生物潔凈室特別是生物安全實(shí)驗(yàn)室排出的廢水中往往含有病毒、有害微生物和致敏性物質(zhì)，而且產(chǎn)品品種、生產(chǎn)工藝不同廢水的成份也不同。因此含有害微生物的廢水應(yīng)按成份分別收集，分別滅活、消毒滅菌后達(dá)標(biāo)才能排放。
潔凈室的廢氣處理：
一、工業(yè)潔凈室：特別是電子工業(yè)潔凈室排放的廢主要成份有：一般廢氣、熱廢氣、有機(jī)廢氣、酸堿廢氣、含磷等特殊廢氣、含粉塵的廢氣等，不同行業(yè)、不同產(chǎn)品、不同工藝其排放的廢氣的成份不同，但都必須處理達(dá)到國家排放標(biāo)準(zhǔn)后方能排到室外。
1、一般由生活用房、值班室、衛(wèi)生間排出的一般廢氣可直接排到室外。
2、排放的有機(jī)廢氣超標(biāo)時(shí)必須經(jīng)過有機(jī)廢氣處理設(shè)備處理達(dá)標(biāo)后再排放有機(jī)廢氣，處理方法有活性炭吸附法、液體吸收法和催化燃燒法等。
3、含酸堿廢氣在生產(chǎn)工藝中排放的較多，一般都是經(jīng)過淋液濕式洗氣吸收塔進(jìn)行中和處理達(dá)標(biāo)排放。
4、排放的熱廢氣一般情況下可直接排放，如果溫度較高必須采取隔熱措施以免傷人。
5、含塵廢氣必須經(jīng)過適當(dāng)?shù)某龎m裝置除塵后再排至大氣。
6、含磷、含砷等特殊廢氣首先防止在排氣系統(tǒng)中產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)并通過專用的廢氣處理設(shè)備處理后達(dá)標(biāo)排放。通常處理方法有稀釋法、吸收法、吸附法、催化燃燒法等等。
二、生物潔凈室：尤其是生物安全實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)一般含有活性的有毒有害的病菌等微生物。因此這類排風(fēng)須經(jīng)過過濾滅菌后再排放。如手術(shù)室的排風(fēng)須經(jīng)過中效過濾方能排到室外；P3實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)須經(jīng)過高效過濾器過濾后方能排到室外；P4實(shí)驗(yàn)室的排風(fēng)須經(jīng)過兩級高效過濾器過濾后才能排到室外。為了安全最好采用袋進(jìn)袋出的高效過濾器裝置。
潔凈室凈化空調(diào)設(shè)計(jì)程序步驟：
設(shè)計(jì)前的準(zhǔn)備工作及應(yīng)收集的有關(guān)數(shù)據(jù)和資料：
1、收集國家和地方有關(guān)潔凈室建設(shè)的政策標(biāo)準(zhǔn)規(guī)范：
（1）潔凈度等級的國家標(biāo)準(zhǔn)和國際標(biāo)準(zhǔn)ISO 14644
（2）潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”GB 50073-2013
（3）電子工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”（修訂中）
（4）制藥工業(yè)潔凈廠房設(shè)計(jì)規(guī)范”（修訂中）
（5）醫(yī)院潔凈手術(shù)部建筑技術(shù)規(guī)范”GB50333-2013
（6）實(shí)驗(yàn)動物環(huán)境及設(shè)施”GB14925-2010
（7）生物安全實(shí)驗(yàn)室建筑技術(shù)規(guī)范”GB50346-2011
（8）潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范”GB50591-2010
（9）電子工業(yè)潔凈廠房施工及驗(yàn)收規(guī)范”（制訂中）
（10）民用建筑供暖通風(fēng)與空氣調(diào)節(jié)設(shè)計(jì)規(guī)范”GB 50736-2012
（11）通風(fēng)與空調(diào)工程施工質(zhì)量驗(yàn)收規(guī)范”GB50243-2016
（12）建筑設(shè)計(jì)防火規(guī)范”GB50016-2014
2、該項(xiàng)目的“可行性研究報(bào)告”以及上級主管部門對報(bào)告的批復(fù)意見；該項(xiàng)目的“設(shè)計(jì)任務(wù)書”和建設(shè)方對該項(xiàng)目建造的有關(guān)要求、意見和建議。
3、該項(xiàng)目建廠地區(qū)的氣象資料、水文地質(zhì)資料和周圍大氣污染的環(huán)境狀況。
4、潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝對凈化空調(diào)的要求和必須收集的生產(chǎn)工藝的技術(shù)條件和有關(guān)數(shù)據(jù)、資料：
（1）潔凈廠房內(nèi)的生產(chǎn)工藝設(shè)備平面布置圖和設(shè)備清單，以及工藝對吊頂高度的要求。
（2）工藝對潔凈室內(nèi)的潔凈度、溫度及精度、相對濕度及精度、正壓、振動、噪聲、照度、靜電、屏蔽等要求。
（3）潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的產(chǎn)熱量、產(chǎn)濕量、產(chǎn)塵量。各設(shè)備的安裝功率、效率、熱轉(zhuǎn)化系數(shù)和同時(shí)使用系數(shù)等。
（4）潔凈室內(nèi)生產(chǎn)工藝設(shè)備的局部排風(fēng)量、排放氣體的性質(zhì)、成份、濃度和廢氣排放量以及廢氣治理方法。
（5）潔凈室內(nèi)生產(chǎn)運(yùn)行的班次、運(yùn)行規(guī)律、生產(chǎn)的最大班人數(shù)。
5、潔凈廠房的建筑和結(jié)構(gòu)的情況和有關(guān)的數(shù)據(jù)：
（1）潔凈室建筑的平面布置圖、立面圖、剖面圖。各房間的分割、面積、名稱、層高。
（2）潔凈室圍護(hù)結(jié)構(gòu)（墻、地、頂、門、窗等）的建筑材料以及其熱工性能。
（3）建筑結(jié)構(gòu)狀況、結(jié)構(gòu)的承載能力，尤其是舊建筑的改造項(xiàng)目結(jié)構(gòu)的安全十分重要。
6、全廠冷源、熱源、電源的情況及供應(yīng)：
（1）冷熱源的性質(zhì)、參數(shù)和供應(yīng)量。有無加濕用的蒸汽等。
（2）電源的性質(zhì)、參數(shù)和供應(yīng)量。
7、地方消防、環(huán)保部門對該項(xiàng)目建設(shè)的要求和意見。
8、其它相關(guān)專業(yè)（給水排水、氣體動力、建筑結(jié)構(gòu)、強(qiáng)電弱電等）的要求和意見。
9、設(shè)計(jì)時(shí)所用的設(shè)備、材料、配件的性能、參數(shù)和價(jià)格的資料。
工藝平面和建筑平面的規(guī)劃：
工藝平面一般由甲方工藝技術(shù)人員根據(jù)工藝流程和工藝設(shè)備以及工藝生產(chǎn)的需要進(jìn)行合理規(guī)劃。工藝平面規(guī)劃后在滿足工藝平面規(guī)劃的前提下，布置換鞋、更衣、吹淋、廁所等人流輔助生活用房、物流吹淋輔助用房和走廊參觀以及消防疏散等通道，最大限度地保證生產(chǎn)工藝的流程短捷和火災(zāi)時(shí)人員的安全疏散。
凈化空調(diào)系統(tǒng)和排風(fēng)系統(tǒng)的劃分原則：
根據(jù)建筑專業(yè)提供的建筑平面圖，工藝專業(yè)提供的工藝設(shè)備平面圖和工藝對各潔凈室的潔凈度，溫、濕度等環(huán)境的要求，即可進(jìn)行凈化空調(diào)系統(tǒng)的劃分工作。